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2025年10月16日，台州光电产业创新中心“高端掩模基板制造装备（抛光装备）项目”中期评审会顺利召开，来自高校、科研院所及知名企业的专家团队齐聚椒江，对项目阶段性成果进行全面检验。中心主任徐学科主持会议。

会议伊始，项目负责人就项目概况、总体目标、中期任务完成情况、关键技术突破、阶段性成果、经费使用情况及下一阶段工作计划进行了全面详实的汇报。项目团队系统梳理了装备的核心技术参数与工艺难点，集中展示了自主研发在抛光精度、效率及稳定性等关键指标上取得的跨越式突破。本项目显著的阶段性成果赢得了专家组的高度评价与一致认可。

专家组秉持科学严谨、客观公正的原则，通过汇报听取、资料审阅、细节质询、现场审查等多种形式，对项目中期进度进行了深入细致的审查与评估。专家组一致认为该项目切合国家光电产业发展亟需，对提升我国高端半导体前道工艺装备的自主可控能力具有重要战略意义。同时，专家组也从技术路径优化、工艺稳定性提升、产业化前景展望及潜在风险防控等方面提出了建设性意见，为项目后续核心技术突破与产业化应用指明了方向。

本次评审会的成功召开，不仅是对项目上一阶段工作的有效检验，更是对后续研发任务的再动员、再部署，它标志着“高端掩模基板制造装备（抛光装备）项目”进入了承前启后的关键阶段。本项目当前取得的成绩既是“硬科技”攻坚的重要探索，也是产业链自主可控的生动实践。

下一步，台州光电产业创新中心将紧扣专家组意见，以用户需求与产业化为导向，全力推动技术成果转化，突破从实验室样机到规模化生产的核心瓶颈，致力打造具有市场竞争力的成熟产品，最终实现高端掩模基板装备的国产替代与产业应用，为我国半导体产业链的自主可控提供坚实装备支撑。